Talysurf CCI 6000非接觸式三維輪廓測量儀

Talysurf CCI 6000 適用于高精度三維表面測量分析。一種在垂直方向全程內(nèi)分辨率為0.1 Å，測量噪音低于0.5 Å的高水準(zhǔn)的非接觸式三維表面測量儀。精密三維表面輪廓光學(xué)系列測量儀采用相干相關(guān)技術(shù)進(jìn)行非接觸式表面測量。此類儀器能在僅10秒內(nèi)完成測量數(shù)據(jù)點(diǎn)超過百萬的表面測量，分辨率高達(dá)0.01 nm (0.1 Å)。

Talysurf CCI 6000 干涉儀是一種良好的高分辨率的光學(xué)輪廓測量儀。像素達(dá)100萬的傳感器作為系統(tǒng)的標(biāo)準(zhǔn)配置。該系統(tǒng)可提供測量重復(fù)性和很高的表面細(xì)節(jié)。該系統(tǒng)專為需要進(jìn)行高分辨率測量的（如亞微米級與亞納米級的z軸分辨率）各種不同類型的表面而設(shè)計的。它非常適合應(yīng)用于許多不同的領(lǐng)域包括：半導(dǎo)體制造業(yè)和微機(jī)電系統(tǒng)，以及良好的科學(xué)研究與光學(xué)業(yè)。

篤摯儀器（上海）有限公司專業(yè)代理英國泰勒粗糙度儀、輪廓儀、粗糙度輪廓儀、圓度儀、圓柱度儀等精密測量儀器。英國泰勒霍普森Taylor Hobson隸屬于美國阿美特克AMETEK集團(tuán)，是不斷創(chuàng)新的精密計量領(lǐng)域的世界***，杰出的聲譽(yù)源自100多年的計量設(shè)計和精密制造工程經(jīng)驗(yàn)。代表著表面粗糙度及形狀計量學(xué)領(lǐng)域的高精度等級的計量水平，并為眾多應(yīng)用領(lǐng)域提供接觸和非接觸測量解決方案。英國泰勒擁有大量以發(fā)明**為代表的知識產(chǎn)權(quán)，同時仍保有大規(guī)模的研發(fā)團(tuán)隊和高額資金投入。并且不斷將科研成果應(yīng)用于新產(chǎn)品的開發(fā)和改進(jìn)，使其更加*地服務(wù)于用戶。

技術(shù)特點(diǎn)：

      。垂直分辨率高達(dá)0.1 Å (0.01 nm) 
      。測量噪音（實(shí)際測量數(shù)據(jù)）低至0.5 Å (0.05 nm) 
      。標(biāo)準(zhǔn)數(shù)據(jù)測量點(diǎn)為百萬, 系統(tǒng)數(shù)據(jù)測量點(diǎn)可多至四百萬

圖1：Talysurf CCI 6000非接觸式三維輪廓測量儀

Talymap 3D分析軟件：

業(yè)界**的軟件使三維表面測量變得易于訪問。自動分析程序只需按一下按鈕即可進(jìn)行詳細(xì)的測量分析?？梢宰詣幼R別，測量和分類由直徑，面積或體積定義的表面特征。數(shù)據(jù)操作工具由于可以對軟件中的測量數(shù)據(jù)進(jìn)行軟件調(diào)整和對齊，因此大大簡化了組件的準(zhǔn)備和準(zhǔn)備工作。

      。高分辨率變焦
      。調(diào)平和旋轉(zhuǎn)
      。倒置和鏡像
      。消除形式和缺陷
      。輪廓提取
 

微觀粗糙度，波紋度，進(jìn)給速度和深度

可以在超級拋光的光學(xué)組件上測量到亞埃級的表面紋理（RMS）